白光干涉仪
白光干涉仪的检测应用
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪，不需要复杂的光路调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400μm之微三维量测，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含：
·晶圆（wafer）
·光盘/硬盘（dvd disk/haed disk）
·微机电组件（mems components）
·平面液晶显示器（lcd）
·高密度线路印刷电路板（hdi pcb）
·ic封装（ic package）
·以及其他材料分析与组件微表面研究
高速精密的干涉条纹解析软件（imgscan）
·系统硬件搭配imgscan前处理软件自动解析白光干涉条纹。
·垂直高度分辨率可达0.1nm。
·高速的分析算法则，让您不在苦候量测结果。
·垂直扫描范围的设定轻松又容易。
·10×，20×与50×倍率的物镜可供选择。
·平台x、y、z位置数显式显示，使检测标的寻找快速又便利。
·具有手动/自动光强度调整功能以取得的干涉条纹对比。
·具有高精度的pvsi与高速的vsi扫描量测模式供7选择。
·具有专利的解析算法则，可处理半透明物体的3d形貌。
·具有自动补点功能。
·可自行设定扫描方向。
专业级的3d图形处理与分析软件（posttopo）
·提供多功能又具亲和接口的3d图形处理与分析。
·提供自动表面平整化处理功能。
·提供阶高标准片的软件自校功能。
·深度/高度分析功能，提供线型分析与区域分析等两种方式。
·线型分析方式提供直接追溯iso定义的表面粗糙度（roughness）与起伏度（waviness）的量测分析。可提供多达17种的iso量测参数与4种额外量测数据。
·区域分析方式提供图形分析与统计分析。具有平滑化、锐化与数字滤波等多种二维快速傅利叶转换（fft）处理功能。
·量测分析结果以bmp等多种图形档案格式输出或是以excel文本文件格式输出。
机台规格：
型号 | swim1510ms | ||
系统配备 | 显微镜、扫描控制器、移动平台、取像单元、个人计算机 | ||
显微镜 | 单眼显微镜（标准配件） | ||
干涉物镜（选配） | 放大率 | 视野（mm） | 光学分辨率（μm） |
10× | 0.5 | 1.12 | |
20× | 0.25 | 0.84 | |
50× | 0.1 | 0.61 | |
影像缩放 | 1.0×（标准）0.5×（选配） | ||
垂直扫描控制器 | 扫描范围 | 100μm（400μm，选配） | |
扫描分辨率 | 0.1nm | ||
扫描模式 | 自动 | ||
光强度调整 | 自动/手动 | ||
扫描速度 | 12μm/s（Zui快） | ||
样品移动平台 | x-y平面移动平台 | 150mm×100mm，手动（标准配件） | |
z轴移动平台 | 80mm，手动（标准配件） | ||
位置数字显示单元 | 三轴光学尺与三轴数字显示器（分辨率1μm） | ||
偏移调整工作台 | 手动 | ||
取像单元 | 影像传感器 | 面型ccd（标准配置） | |
传感器分辨率 | 640×480像素（标准配件） | ||
计算机配备 | pentium-computer，17′lcd monitor，120gb以上硬盘机 | ||
分析软件 | ms-windows兼容的数据攫取与分析软件，包含iso粗糙度/阶高分析，快速傅利叶转换和滤波，多样的2d和3d观测视角图，外形分析，图像缩放，标准影像档案格式转换等等。 | ||
阶高标准片（选配） | 50nm、170nm、230nm、470nm、1800nm | ||
本产品的类型是白光干涉仪，品牌是Rational/万濠，型号是SWIM1510MS白光干涉仪，品种是其他干涉仪，测量范围是150mm×100mm，测量分辨率是0.1nm，Zui近工作距离是80mm（mm），用途是结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪，不需要复杂的光路调整程序，发货期限是10
