SWIM1510MS白光干涉仪(图)
白光干涉仪
白光干涉仪的检测应用
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪,不需要复杂的光路调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400μm之微三维量测,适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含:
·晶圆(wafer)
·光盘/硬盘(dvd disk/haed disk)
·微机电组件(mems components)
·平面液晶显示器(lcd)
·高密度线路印刷电路板(hdi pcb)
·ic封装(ic package)
·以及其他材料分析与组件微表面研究
高速精密的干涉条纹解析软件(imgscan)
·系统硬件搭配imgscan前处理软件自动解析白光干涉条纹。
·垂直高度分辨率可达0.1nm。
·高速的分析算法则,让您不在苦候量测结果。
·垂直扫描范围的设定轻松又容易。
·10×,20×与50×倍率的物镜可供选择。
·平台x、y、z位置数显式显示,使检测标的寻找快速又便利。
·具有手动/自动光强度调整功能以取得的干涉条纹对比。
·具有高精度的pvsi与高速的vsi扫描量测模式供7选择。
·具有专利的解析算法则,可处理半透明物体的3d形貌。
·具有自动补点功能。
·可自行设定扫描方向。
专业级的3d图形处理与分析软件(posttopo)
·提供多功能又具亲和接口的3d图形处理与分析。
·提供自动表面平整化处理功能。
·提供阶高标准片的软件自校功能。
·深度/高度分析功能,提供线型分析与区域分析等两种方式。
·线型分析方式提供直接追溯iso定义的表面粗糙度(roughness)与起伏度(waviness)的量测分析。可提供多达17种的iso量测参数与4种额外量测数据。
·区域分析方式提供图形分析与统计分析。具有平滑化、锐化与数字滤波等多种二维快速傅利叶转换(fft)处理功能。
·量测分析结果以bmp等多种图形档案格式输出或是以excel文本文件格式输出。
机台规格:
本产品的类型是白光干涉仪,品牌是Rational/万濠,型号是SWIM1510MS白光干涉仪,品种是其他干涉仪,测量范围是150mm×100mm,测量分辨率是0.1nm,Zui近工作距离是80mm(mm),用途是结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪,不需要复杂的光路调整程序